含氟电子气分析用氦离子色谱仪

GC-9280型含氟电子气分析用氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，不同底气的样品的进样量。

氟的技术指标：

项目                                    指标

氟（F2）（体积分数）/10-2                       ≥99

氧（O2）+氮（N2）（体积分数）（N2）/10-2    ≤0.45

四氟化碳（CF4）（体积分数）/10-2            ≤0.05

氟化氢（HF）（体积分数）/10-2                ≤0.5

氟氮混合气的技术指标：

项目指标

氟（F2）（体积分数）/10-2  　20

氮（N2）（体积分数）（N2）/10-2　80

氧（O2）（体积分数）（N2）/10-2≤0.08

四氟化碳（CF4）（体积分数）/10-2≤0.03

仪器特点

高纯气体分析专用检测器

氦放电离子化检测器对H2、O2、N2、CH4、CO、CO2、等常规杂质均有很高的线性响应。这款检测器是一种灵敏度高通用型检测器，对几乎所有无机和有机化合物均有很高的响应，特别适合高纯气体的分析，是能够检测至ng/g（ppb） 级的检测器。

采用中心切割技术，实现仪器的高度自动化

 采用VICI公司生产的吹扫型自动十通阀完成中心切割与反吹技术，配合吹扫型自动六通阀，一次进样即可完成复杂样品的分离、选择、检测。使样品经过不同条件的色谱柱进行有效的分离，通过工作站设置的时间程序自动控制吹扫阀的进样、切割、选柱与反吹等过程。

多柱箱系统

系统配置多个独立柱箱控温单元，采用一个主柱箱，多个辅助柱箱对不同色谱柱进行独立控温。使不同的色谱柱在不同柱箱中分离样品、单独活化，避免在检测和维护工作中需要拆装色谱柱的问题。

氦气纯化器：

纯化器 Valco 氦气（HP）纯化器的纯化基质是 一种无挥发性的吸附性合金，吸附剂粒子表面有一层 氧化膜需通过加热活化，活化过程必须在真空或惰性 气体环境下完成，这样可允许氦气在其间自由扩散， 防止氧气纯化层的形成，又可以进行杂质气体的吸 附。HP 的吸附剂材料具有良好的热稳定性，包括两 个温度控制范围。 纯化气体：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn 最大操作压力：1000Psi

去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、 CF4 等

残留浓度：≤10ppb

无死体积的减压阀和取样阀，防止气体残留造成的分析干扰

载气减压阀采用具有两级稳压功能的全不锈钢载气减压阀，大大提高了压力稳定性，确保基线的稳定，同时也降低了阀体内的死体积。

样品取样采用无死体积的取样阀，采用带吹扫保护的取样方式，有效的避免了空气残留的问题，将取样过程对分析的影响降至低的水平。

自动断气保护功能，保障检测器的安全运行

具有智能的断气保护功能，当载气压力小于安全阈值时，系统会自动切断检测器电压，并色谱仪自动降温，以保护检测器及色谱柱不受到损坏。

技术指标

氦放电离子化检测器

检测限：≤1.0×10-11g／ml（氦中 CH4   ）

基线噪声：≤0.1mV

基线漂移：≤0.5mV/30min

线性范围：≥106

氦气纯化器：

可纯化气体：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn

操作压力：1000Psi

去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等

纯化器类型：可再生纯化器

纯化级别：7N级甚至更别